中科院上海硅酸盐研究所--功能薄膜材料物理性能及应用研究课题组

本课题组是中科院上海硅酸盐研究所下属功能薄膜材料专业研究小组，主要从事以下三方面研究：（1）高性能硅基信息功能薄膜集成系统：包括薄膜生长过程的外延生长控制方法、薄膜的系统集成及铁电、压电原型器件等； （2）氧化物薄膜的制备、掺杂及物理性能：包括氧化物薄膜的制备、掺杂方法及载流子输运机制，宽禁带半导体薄膜材料的光电、热电性能，以及氧化物半导体薄膜光电、热电原型器件； （3）纳米材料的掺杂、晶体学控制及其光电性能：包括低维宽禁带半导体材料的合成、掺杂方法及物理性能；半导体纳米晶薄膜的化学法合成及其光电性能控制。[详细介绍]

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